微振荡元件
授权
摘要
本发明提供一种微振荡元件，其由材料衬底一体地形成，该材料衬底由第一导电层、第二导电层以及置于第一导电层和第二导电层之间的绝缘层制成。该微振荡元件包括：振荡部件、振荡部件支撑框架以及扭转接合部件。该振荡部件包括可移动操作部件。该扭转接合部件将该振荡部件与该框架接合，还限定用于该振荡部件作振荡运动的振荡轴。该可移动操作部件是形成在该第一导电层中的一部分，而该框架是形成在该第二导电层中的一部分。
基本信息
专利标题 ：
微振荡元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1782778A
申请号 ：
CN200510125068.3
公开（公告）日 ：
2006-06-07
申请日 ：
2005-11-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高马悟觉壶井修曾根田弘光上田知史佐胁一平
申请人 ：
富士通株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
郑小军
优先权 ：
CN200510125068.3
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 G02B26/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2008-03-05 ：
授权
2006-08-02 ：
实质审查的生效
2006-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN100373210C.PDF
PDF下载
2、
CN1782778A.PDF
PDF下载
