微振荡元件及微振荡元件阵列

授权

摘要

一种微振荡元件及微振荡元件阵列，微振荡元件包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件及第一梳齿电极，第一臂部件从可移动操作部件延伸，第一梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上从第一臂部件延伸的第一电极齿；第一扭转接合部件，其将第一框架与振荡部件相互连接，并且限定振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与第一梳齿电极配合以使振荡部件振荡，第二梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上延伸的第二电极齿；第二框架；及第二扭转接合部件，其将第一框架与第二框架相互连接，且限定第一框架相对于第二框架作振荡操作的第二振荡轴。本发明能够保持足够的驱动力驱动振荡部件作振荡操作。

基本信息

专利标题：

微振荡元件及微振荡元件阵列

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101241228A

申请号：

CN200810083322.1

公开（公告）日：

2008-08-13

申请日：

2005-11-18

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

高马悟觉壶井修曾根田弘光上田知史佐胁一平

申请人：

富士通株式会社

申请人地址：

日本神奈川县川崎市

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

张龙哺

优先权：

CN200810083322.1

主分类号：

G02B26/08

IPC分类号：

G02B26/08