微振荡元件
授权
摘要
一种微振荡元件，包括框架以及经扭转接合部件连接到框架的振荡部件。振荡部件包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极。臂部件从可移动操作部件延伸。第一梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从臂部件延伸的多个第一电极齿。微振荡元件还包括第二梳齿电极，以与第一梳齿电极配合使得振荡部件绕着扭转接合部件限定的振荡轴振荡。第二梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从框架延伸的多个第二电极齿。
基本信息
专利标题 ：
微振荡元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1782779A
申请号 ：
CN200510125085.7
公开（公告）日 ：
2006-06-07
申请日 ：
2005-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高马悟觉壶井修曾根田弘光上田知史佐胁一平
申请人 ：
富士通株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
郑小军
优先权 ：
CN200510125085.7
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2008-04-23 ：
授权
2006-08-02 ：
实质审查的生效
2006-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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