一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统

授权

摘要

本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统，适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理，将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成，缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构，减少温度变化导致的热变形对干涉的影响，并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪，取消了定镜的使用，对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉，放大光束之间的光程差，从而提高光谱分辨率，降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。

基本信息

专利标题：

一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113155286A

申请号：

CN202110386548.4

公开（公告）日：

2021-07-23

申请日：

2021-04-12

授权号：

CN113155286B

授权日：

2022-04-01

发明人：

易飞万浩威谈小超陈岩

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

代理机构：

华中科技大学专利中心

代理人：

王颖翀

优先权：

CN202110386548.4

主分类号：

G01J3/45

IPC分类号：

G01J3/45 G01J3/02 G02B26/08