扫描镜系统的衬底
实质审查的生效
摘要
一种MEMS扫描镜系统包括具有陶瓷主体的衬底。致动器框架被安装在该衬底的该陶瓷主体上。该致动器框架包括至少一个可移动构件。至少一个致动器操作地被连接到该至少一个可移动构件，使得该致动器被配置为移动该至少一个可移动构件。扫描镜组件被安装到至少一个可移动构件，使得该至少一个可移动构件的移动使该扫描镜组件移动。
基本信息
专利标题 ：
扫描镜系统的衬底
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270242A
申请号 ：
CN202080057430.0
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-06-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·J·奈斯特罗姆W·O·戴维斯王锦程
申请人 ：
微软技术许可有限责任公司
申请人地址 ：
美国华盛顿州
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
王茂华
优先权 ：
CN202080057430.0
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 B81B3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/08
申请日 : 20200610
申请日 : 20200610
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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