衬底搬送机器人及衬底处理系统
授权
摘要
衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下方向，该第2运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在从上下方向偏离的位置且将单个掌片部件设为可进入到衬底载置构造。无论衬底载置构造的种类为何，都能够缩短衬底搬送时的作业时间。
基本信息
专利标题 ：
衬底搬送机器人及衬底处理系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108028218A
申请号 ：
CN201680049634.3
公开（公告）日 ：
2018-05-11
申请日 ：
2016-08-30
授权号 ：
CN108028218B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
后藤博彦马克·谭艾力克·张小野茂树北野真也曾明
申请人 ：
川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)公司
申请人地址 ：
日本兵库县
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
张世俊
优先权 ：
CN201680049634.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2018-06-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20160830
申请日 : 20160830
2018-05-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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