基板搬送方法以及基板搬送装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种基板搬送方法以及基板搬送装置，能够确实地防止基板搬送时的基板的带电。本发明的基板搬送方法是在除去基板(2)上的带电电荷的同时，进行基板(2)的搬送的方法，其包括：在基板(2)的表面局部形成具有导电性的导电膜(21)的工序；和由具有导电性并接地的作为基板支承部的辊子(5)支承基板(2)的导电膜(21)的形成区域，同时搬送基板(2)的工序。
基本信息
专利标题 ：
基板搬送方法以及基板搬送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1831597A
申请号 ：
CN200610051578.5
公开（公告）日 ：
2006-09-13
申请日 ：
2006-03-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小山实
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
汪惠民
优先权 ：
CN200610051578.5
主分类号 ：
G02F1/1333
IPC分类号 ：
G02F1/1333 B65G49/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/13
基于液晶的，例如单位液晶显示单元
G02F1/133
构造上的设备；液晶单元的工作；电路装置
G02F1/1333
构造上的设备
法律状态
2008-09-17 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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