进行基板快速交互搬送的机构及其搬送方法

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摘要

本发明涉及溅射成膜设备技术领域，尤其是一种进行基板快速交互搬送的机构及其搬送方法，其特征在于：所述机构包括至少两个夹持部以及旋转机构，其中所述夹持部与基板相吻合适配以对其进行夹持，所述旋转机构连接所述夹持部并可驱动至少两个所述夹持部可旋转以交换所述夹持部的对应位置。本发明的优点是：实现位于不同空间内的基板的快速交互搬送；结构简单合理，便于扩展，可适应于不同应用场合；使用方便，适于推广。

基本信息

专利标题：

进行基板快速交互搬送的机构及其搬送方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112249685A

申请号：

CN202011161904.4

公开（公告）日：

2021-01-22

申请日：

2020-10-27

授权号：

CN112249685B

授权日：

2022-04-01

发明人：

陈韶华余海春戴晓东靳伟戴秀海

申请人：

光驰科技（上海）有限公司

申请人地址：

上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号

代理机构：

上海申蒙商标专利代理有限公司

代理人：

周宇凡

优先权：

CN202011161904.4

主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

B65G47/90 B65G47/74