基板处理装置及其搬送定位方法
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摘要
本发明提供一种基板处理装置，包括：搬送机构，配置在搬送基台上、在规定的搬送部位之间搬送被处理基板；映像传感器，配置在所述搬送基台上、检测以棚架状收容多个被处理基板的被处理基板收容箱体内的被处理基板的配置状态；和设置在所述搬送部位或其附近的Z轴示教工作用夹具，其中，通过所述映像传感器来检测所述Z轴示教工作用夹具的高度，进行所述搬送机构相对于所述搬送部位的Z轴的示教工作。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置及其搬送定位方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1805127A
申请号 ：
CN200510137640.8
公开（公告）日 ：
2006-07-19
申请日 ：
2005-12-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
近藤圭祐
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN200510137640.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2008-07-30 ：
授权
2006-09-13 ：
实质审查的生效
2006-07-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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