容器搬送装置及具有容器搬送装置的容器存储系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种利用位于构建在制造工厂中的半导体制造设备的上部的死区(Dead Zone)空间来保管前开式统一吊舱(FOUP)、光罩盒等物品的容器搬送装置及具有容器搬送装置的容器存储系统。所述容器存储系统包括：第一存储单元，设置在对容纳基板的容器进行移送的移送装置的移动路径的侧面，并且存储容器；第二存储单元，设置在第一存储单元的侧面，并且存储容器；以及搬送单元，在第一存储单元与第二存储单元之间移动，并且将存储在第一存储单元的容器搬送到第二存储单元。
基本信息
专利标题 ：
容器搬送装置及具有容器搬送装置的容器存储系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114446842A
申请号 ：
CN202111054583.2
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-09-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
安俊相金瑄旿鲁粲煐
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王达佐
优先权 ：
CN202111054583.2
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20210909
申请日 : 20210909
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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