基板搬送装置及涂布装置
授权
摘要
本发明提供一种可顺畅地进行向自下方施加浮力来支撑基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或损伤的基板搬送装置及涂布装置。在本发明的基板搬送装置中,在将与基板的搬送方向正交的水平方向设为宽度方向时,基板支撑平台在俯视时与搬送辊在宽度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游侧端部至少延伸至搬送辊的旋转轴的位置的延伸部,延伸部的上表面的高度与基板支撑面相同且与基板支撑面连接,由升降机构定位于上部位置的搬送辊搬送基板,直至俯视时基板的前端部到达较搬送辊的旋转轴更靠下游位置处,其后,升降机构使搬送辊下降至下部位置,由此将基板自搬送辊移交至基板支撑平台。
基本信息
专利标题 :
基板搬送装置及涂布装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111299018A
申请号 :
CN201911074571.9
公开(公告)日 :
2020-06-19
申请日 :
2019-11-06
授权号 :
CN111299018B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
大宅宗明铃木启悟塩田明仁黒枝笃史富藤幸雄
申请人 :
株式会社斯库林集团
申请人地址 :
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1(邮编:602-8585)
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
杨文娟
优先权 :
CN201911074571.9
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02 B05B13/04
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2022-04-12 :
授权
2021-06-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05B 13/02
申请日 : 20191106
申请日 : 20191106
2020-06-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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