搬送异常预测系统
实质审查的生效
摘要
搬送异常预测系统具备推定部，该推定部具有完成学习模型，该完成学习模型对包含从设于基板搬送部的多个传感器分别在过去的基板搬送时所输出的传感器数据的数据集与该基板搬送时的搬送异常度的关系性进行了机器学习，该推定部将包含从所述多个传感器分别在新的基板搬送时所输出的传感器数据的数据集作为输入，推定该新的基板搬送时的搬送异常度并输出。
基本信息
专利标题 ：
搬送异常预测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503247A
申请号 ：
CN202080069453.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
中村显
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
代理机构 ：
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
张丽颖
优先权 ：
CN202080069453.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 B65G43/02 G05B23/02 G06N3/04 G06N3/08
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20200918
申请日 : 20200918
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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