一种衬底搬送机器人及衬底处理系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种衬底搬送机器人及衬底处理系统,包括底座,所述底座上端表面开设有容纳槽,所述容纳槽内部底端设置有支撑板,所述支撑板顶部固定设置有机体,所述底座外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓,所述螺栓的一端均通过螺纹孔位于机体内部。本实用新型在容纳槽内部是通过支撑板来进行支撑机体的,在需要将机体与底座进行分离时,工作人员只需拆卸下螺栓,然后使马达进行工作带动螺杆转动就能够使移动板进行移动来带动支撑板进行同步的移动,使得机体的底端能够逐渐移动出容纳槽,避免了工作人员需要使用过多的力气将机体移动出容纳槽的步骤,节省了人力,提高了用于安装本机器人的底座的使用便利性。
基本信息
专利标题 :
一种衬底搬送机器人及衬底处理系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922064777.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-26
授权号 :
CN211729188U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
朱磊
申请人 :
天津弘亚模具有限公司
申请人地址 :
天津市宝坻区大口屯镇产业功能区十经路1号118室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922064777.5
主分类号 :
B25J11/00
IPC分类号 :
B25J11/00 B25J9/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J11/00
不包含在其他组的机械手
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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