一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜
授权
摘要
本实用新型专利属于光学MEMS、3D传感技术、激光扫描、激光传感技术领域，尤其涉及一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜。本实用新型一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，包括玻璃衬底、单晶硅、光学反射膜和引线pad；玻璃衬底位于单晶硅的底部，光学反射膜和引线pad设置在单晶硅的上部；单晶硅上刻蚀加工出硅扭转梁、MEMS驱动器和硅通气孔。本实用新型设计的一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，采用玻璃衬底取代单晶硅衬底，从而利用硅‑玻璃阳极键合工艺取代硅‑硅键合工艺，大幅度降低键合工艺要求和工艺成本，提高工艺良率，从而较大幅度降低MEMS扫描振镜的制作成本。
基本信息
专利标题 ：
一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022523914.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
CN213240664U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
郭俊兴杜先鹏金传广
申请人 ：
苏州小优智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区东吴北路8号国裕大厦一期1401室
代理机构 ：
北京金硕果知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郝晓霞
优先权 ：
CN202022523914.X
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 G02B26/10 B81B5/00 B81B7/00 B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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