静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法
公开
摘要
静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法；静电驱动MEMS梳齿结构，其梳齿表面具有绝缘层，相邻梳齿表面的绝缘层是同一种绝缘层或者不同绝缘层；采用静电驱动MEMS梳齿结构的微镜从下到上依次由基底、隔离层以及器件层构成；微镜的制作方法采用高温氧化、等离子增强化学气相沉积、低压化学气相沉积、常压化学气相沉积、物理沉积、原子层沉积或分步异质沉积法制作绝缘层；即在驱动梳齿表面和接地梳齿表面得到相同或者不同的绝缘层；当驱动梳齿与接地梳齿产生吸附，则二者表面的绝缘层接触，不形成短路，具有良好的绝缘效果；本发明的防止吸附损坏的静电驱动式MEMS微镜结构紧凑，工艺简单。
基本信息
专利标题 ：
静电驱动MEMS梳齿结构、采用该结构的微镜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594594A
申请号 ：
CN202210508327.4
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-05-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姜军委张妮妮刘青峰马力杨涛彭磊李欢欢王芳
申请人 ：
西安知象光电科技有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区丈八街办锦业路69号创业研发园C区1号瞪羚谷70104室
代理机构 ：
西安智大知识产权代理事务所
代理人 ：
弋才富
优先权 ：
CN202210508327.4
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 C23C14/22 C23C16/44 C23C16/455 C23C16/50 B81B3/00 B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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