MEMS微镜设备
授权
摘要
一种MEMS微镜设备，形成在包括容纳体和对光辐射透明的盖的封装件中。封装件形成容纳具有反射表面的可倾斜平台的腔。元结构形成在盖上和/或反射表面上，并且包括多个衍射光学元件。本公开的实施例提供了具有改进性能的MEMS微镜设备，降低或消除了伪像，降低了制造成本。
基本信息
专利标题 ：
MEMS微镜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121559437.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-09
授权号 ：
CN216662479U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
R·卡尔米纳蒂N·博尼M·默利E·杜奇
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
董莘
优先权 ：
CN202121559437.0
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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