MEMS微镜测试系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种MEMS微镜测试系统，包括测试台和激光器，测试台安装有探针和载台；所述载台上方依次设置有分光镜、屏幕和相机，激光器发射的激光照射到分光镜上，分光镜将激光反射到载台。可以直接测试没有封装的MEMS微镜的性能，一旦检测出不合格的产品，即无需进行后续的封装工艺，节约封装成本。而且，本实用新型可以将加工完成的包含多个MEMS微镜芯片的晶圆放置在载台上，通过驱动装置驱动载台运动，既可以测试单颗MEMS微镜，也可以自动连续测试晶圆上所有的MEMS微镜，相比现有测试方案，可以大大提高测试效率。
基本信息
专利标题 ：
MEMS微镜测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921440447.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-02
授权号 ：
CN210198677U
授权日 ：
2020-03-27
发明人 ：
程进徐乃涛孙其梁肖竞进
申请人 ：
无锡微视传感科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡山经济技术开发区二泉东路19号
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
平梁良
优先权 ：
CN201921440447.5
主分类号 ：
G01M11/00
IPC分类号 ：
G01M11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2020-03-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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