二维扫描微镜
授权
摘要
本实用新型公开了一种二维扫描微镜，包括边框、反射部、关于反射部中心对称的半包围式结构的扭转梁，扭转梁两端分别与反射部和边框连接；所述边框上加工有金属电极，金属电极与导电线圈连接，导电线圈位于反射部的表面，反射部的另一面为镜面。本实用新型的二维扫描微镜使用新型的扭转梁结构，只需要一个边框和一组中心对称的半包围式结构的扭转梁，即可使镜面在两个方向偏转，实现对光信号的二维扫描。由于只采用了一个边框和一组扭转梁，显著提高镜面占空比，提高信号的传输效率。并且组成微镜阵列时，也可以提高镜面占空比，有利于二维扫描微镜的阵列化。
基本信息
专利标题 ：
二维扫描微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921470622.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-02
授权号 ：
CN210222357U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
程进徐乃涛孙其梁李宋泽
申请人 ：
无锡微视传感科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡山经济技术开发区二泉东路19号
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
平梁良
优先权 ：
CN201921470622.5
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10 G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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