一种MEMS微镜扫描角度测试装置
授权
摘要
本实用新型公开的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，包括红光激光器、孔径光阑、MEMS微镜和用于成像的屏幕；红光激光器产生的光束依次经过孔径光阑小孔、MEMS微镜后显示于用于成像的屏幕上，用于成像的屏幕选用网格型坐标纸，成本低，且方便数据读取；通过外加激励信号来驱动MEMS微镜进行反射扫描运动，经反射扫描的光束在成像屏幕上形成光斑轨迹，再改变外加激励信号，并记录其对应的响应数据。本实用新型能测试出在不同驱动信号激励下MEMS微镜的扫描角度，解决现有的技术中，MEMS微镜的测试装置较为繁琐，成像光斑直径过大，测量角度的准确性较低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS微镜扫描角度测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123423982.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216448825U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
李晨陈帅
申请人 ：
陕西科技大学
申请人地址 ：
陕西省西安市未央区大学园
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
范巍
优先权 ：
CN202123423982.X
主分类号 ：
G01B11/26
IPC分类号 ：
G01B11/26 G01M11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/26
•用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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