一种二维矢量扫描微镜
授权
摘要
本发明公开了一种二维矢量扫描微镜，包括外围框架、设于外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的第一扭转梁、设于内框架内的微反射镜及连接内框架和微反射镜的第二扭转梁，其中，内框架可绕第一扭转梁旋转，微反射镜可绕第二扭转梁旋转。本发明的二维矢量扫描微镜采用双轴解耦驱动设计，即以第一扭转梁为对称轴，在内框架背面电镀线圈，当线圈中通过电流时，在磁场的作用下，为内框架的偏转提供驱动力；同时，以第二扭转梁为对称轴，在微反射镜背面电镀线圈，为第二扭转梁的偏转提供驱动力，从而实现二维方向的准静态驱动，实现二维空间的矢量扫描。
基本信息
专利标题 ：
一种二维矢量扫描微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110764253A
申请号 ：
CN201810831509.9
公开（公告）日 ：
2020-02-07
申请日 ：
2018-07-26
授权号 ：
CN110764253B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
沈文江余晖俊崔亚春李帆雅
申请人 ：
中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G2-1801
代理机构 ：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙伟峰
优先权 ：
CN201810831509.9
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-03-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/10
申请日 : 20180726
申请日 : 20180726
2020-02-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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