电磁式MEMS扭转微镜
授权
摘要

本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜,其包括基板、支撑结构和线圈;基板上设置有微镜镜面,所述基板设置在所述支撑结构上,所述支撑结构支撑所述微镜镜面,所述线圈设置在电路板上,所述电路板与所述线圈连接,为所述线圈通电;所述支撑结构包括扭梁和支撑柱,所述支撑柱为圆柱体,其设置在所述电路板上,所述支撑柱的上端与所述扭梁的一端连接,所述扭梁设置有两个,对称设置在所述基板的侧面,所述基板悬挂在所述扭梁的另一端上。扭梁连接有基板,扭梁在外部洛仑兹力的作用下,发生轻微扭动时带动微镜进行角度的偏移,从而带动微镜镜面的转动,而控制洛仑兹力的大小则可以间接控制镜面转动的角度,为了实现对镜面角度的精确控制。

基本信息
专利标题 :
电磁式MEMS扭转微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021712362.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-17
授权号 :
CN213182193U
授权日 :
2021-05-11
发明人 :
秦毅王福杰姚智伟任斌郭芳
申请人 :
东莞理工学院
申请人地址 :
广东省东莞市松山湖科技产业园区大学路1号
代理机构 :
北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李勇
优先权 :
CN202021712362.0
主分类号 :
G02B26/08
IPC分类号 :
G02B26/08  B81B7/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2021-05-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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