微电化泵及其制造方法
专利申请的视为撤回
摘要
一种用于医疗和分析领域的微电化泵具有一夹在表面板和玻璃基片之间的薄膜板。该中间模板具有一吸入阀和一输出阀而玻璃基片有一入口和一出口分别连接到相应阀。在借助蚀刻技术形成于薄膜板上的两阀之间，存在一振动膜片，在该振动膜片上有一检测振动膜片任何状态的压电元件。另一微电化泵具有上薄膜板构件和下薄膜板构件。上构件具有吸入阀，下构件具有输出阀。在上和下薄膜板构件之间插入一中间玻璃基片。
基本信息
专利标题 ：
微电化泵及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1054119A
申请号 ：
CN90110264.4
公开（公告）日 ：
1991-08-28
申请日 ：
1990-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宫崎肇丰田正明上原太介村中司纸透真野濑保人
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
郭伟刚
优先权 ：
CN90110264.4
主分类号 ：
F04B43/04
IPC分类号 ：
F04B43/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B43/00
具有柔性工作元件的机械、泵，或泵送装置
F04B43/02
具有板状柔性件，例如隔膜
F04B43/04
具有电气驱动的泵
法律状态
1993-09-08 ：
专利申请的视为撤回
1991-08-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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