一种大转角高频率一维电磁驱动微镜
授权
摘要
本实用新型涉及一种大转角高频率一维电磁驱动微镜,包括驱动外框、驱动线圈、外框扭转轴、内部镜面和内部扭转轴;所述驱动线圈固定安装在驱动外框内部;所述外框扭转轴一端伸出驱动外框,另一端穿过驱动线圈向内延伸;所述外框扭转轴向内延伸端与内部扭转轴连接;所述内部镜面通过内部扭转轴安装在驱动外框内;所述外框扭转轴上设有驱动导线;所述驱动导线将驱动信号引入驱动线圈;所述驱动线圈控制内部扭转轴驱动使内部镜面发生偏转运动;本实用新型采用驱动外框与内部镜面分离的设计,驱动外框与内部镜面具有不同的工作频率,且内部镜面的内部扭转轴上没有驱动导线,实现了高频率大转角的扫描,提高了微镜的使用寿命。
基本信息
专利标题 :
一种大转角高频率一维电磁驱动微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020914189.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-27
授权号 :
CN212181160U
授权日 :
2020-12-18
发明人 :
余晖俊沈文江
申请人 :
中科融合感知智能研究院(苏州工业园区)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G2-1801
代理机构 :
苏州思睿晶华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
阮俊敏
优先权 :
CN202020914189.6
主分类号 :
G02B26/08
IPC分类号 :
G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2020-12-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载