一种快速升降温设备单点测温装置
授权
摘要
本实用新型提供一种快速升降温设备单点测温装置,具体涉及测温装置领域,包括硅片,所述硅片上设有凹槽,所述凹槽横截面呈凸型结构,所述凹槽底部设有测温热偶探头,所述测温热偶探头上设有测温热偶线,所述凹槽内填充有高温胶,将所述测温热偶探头和测温热偶线固定在所述凹槽内,且所述高温胶填充高度凸出于所述凹槽上端。本实用新型可解决测温装置的测温热偶与硅片接触牢靠,不易脱落,延长使用寿命,节约成本等问题。
基本信息
专利标题 :
一种快速升降温设备单点测温装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020676214.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-28
授权号 :
CN211740433U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
杨志勇景豪杰刘芳亮单庆喜
申请人 :
扬州思普尔科技有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市高新区华钢路8-1号清华大学智能装备园
代理机构 :
南京常青藤知识产权代理有限公司
代理人 :
黄胡生
优先权 :
CN202020676214.1
主分类号 :
G01K7/02
IPC分类号 :
G01K7/02 G01K1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01K
温度测量;热量测量;未列入其他类目的热敏元件
G01K7/02
利用热电元件,例如热电偶
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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