一种定位移动机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种定位移动机构,包括机台、支撑石英花篮的承托装置、用于定位石英花篮的定位装置以及移动石英花篮的移动装置，所述移动装置设置于机台上，所述承托装置设置于移动装置上侧，所述定位装置设置于承托装置上侧，本实用新型采用多组限位块对石英花篮进行可靠限位，且限位块上设置调节孔，用以调节限位块间距，便于根据石英花篮的尺寸进行调整，本实用新型设置有油污挡板，提高了设备的整洁度，还采用光电传感器，精确检测石英花篮中是否有硅片，采用感应传感器，确认并设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上，进一步提高了设备的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种定位移动机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020689729.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-29
授权号 ：
CN211929458U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
沈晓琪张立强嘉杰丁治祥
申请人 ：
无锡小强半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202020689729.5
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/677 H01L21/66 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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