一种上料花篮定位移动机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种上料花篮定位移动机构,包括机台、移动花篮的移动装置、支撑花篮的承托装置以及定位花篮的定位装置，所述移动装置固设于机台上，所述承托装置设置于移动装置的上侧，所述定位装置设置于承托装置的上侧，本实用新型结构简单，采用滚珠丝杆丝杆传动，提高设备的运动精度，且设置两组同步运动的定位装置，节省时间，提高了生产效率，本实用新型采用气缸对花篮前后侧进行定位，采用两侧限位的方式对花篮左右侧进行限位，实现了对花篮全方位的限定，进而在对硅片进行取料或放料过程中，可精确定位，进一步提高了设备的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种上料花篮定位移动机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020689725.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-29
授权号 ：
CN211879358U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
沈晓琪丁治祥李亚康朱斌
申请人 ：
无锡小强半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202020689725.7
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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