晶片移动装置
授权
摘要
本申请公开了一种晶片移动装置，包括机械臂，具有相对的第一表面与第二表面；以及吸盘，与机械臂固定连接，其中，吸盘具有相连的吸附部和固定部，吸附部的吸附面与第一表面相背，固定部自第一表面延伸至第二表面。该晶片移动装置通过在吸盘上设置固定部，增加了吸盘与机械臂之间的固定强度，从而改善了吸盘因使用时间过长或者打磨外力而脱落的问题。
基本信息
专利标题 ：
晶片移动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021853689.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN213026088U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
宋涛张文杰
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202021853689.X
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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