晶片测量设备及其晶片传送方法
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种晶片测量设备及其晶片传送方法。该晶片测量设备包括一本体、一晶片测量单元、一晶片存放件以及一机器人。该机器人设置在该本体上，且经配置以从一第一晶片容器移动一晶片到该晶片测量单元，其中该第一晶片容器设置在一装载端口区上；以及在该晶片测量单元测量该晶片之后，从该晶片测量单元移动该晶片到该晶片存放件。
基本信息
专利标题 ：
晶片测量设备及其晶片传送方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280442A
申请号 ：
CN202110968920.2
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-08-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄日正
申请人 ：
南亚科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新北市
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
聂慧荃
优先权 ：
CN202110968920.2
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 H01L21/677 B07C5/344
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/26
申请日 : 20210823
申请日 : 20210823
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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