蓝宝石晶片的测量装置
实质审查的生效
摘要
本公开涉及一种蓝宝石晶片的测量装置，属于蓝宝石晶片加工领域。该蓝宝石晶片的测量装置包括上料工位、清洗工位以及测量工位，所述清洗工位包括传送带和沿传送带依次布置的一次水洗工位、二次水洗工位以及风干蓝宝石晶片的风干工位，所述上料工位设置在所述传送带的上游，用于向所述传送带递送待清洗的所述蓝宝石晶片，所述测量工位设置在所述传送带的下游，用于承接已清洗的所述蓝宝石晶片以使得所述蓝宝石晶片的TTV值得到检测。本公开的蓝宝石晶片的测量装置解决了相关技术中存在的蓝宝石晶片的TTV值测量结果不准确的问题。
基本信息
专利标题 ：
蓝宝石晶片的测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114427818A
申请号 ：
CN202111629241.9
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许永峰宋亚滨翟虎陆继波陈桥玉赵亨山
申请人 ：
甘肃旭晶新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请人地址 ：
甘肃省酒泉市肃州区经济技术开发区(西园)科研孵化园5号楼501
代理机构 ：
北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金兰
优先权 ：
CN202111629241.9
主分类号 ：
G01B5/06
IPC分类号 ：
G01B5/06 H01L21/67 H01L33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B5/06
用于计量厚度
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 5/06
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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