一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置,包括工作柜,所述工作柜内部设有液压油缸,所述液压油缸底部固定连接有横板,所述横板底部两侧固定连接有连接杆,所述连接杆底部固定连接有安装板,所述安装板顶部固定连接有涂液箱,所述涂液箱底部贯穿安装板固定连接有滴液管,所述滴液管下方设有旋涂盘,所述旋涂盘底部固定连接有顶出箱,所述顶出箱底部固定连接有托板,所述托板下方设有支架,所述支架底部固定连接有伺服电机,所述伺服电机输出端与托板底部固定连接,本实用新型可控制涂液的供给量并对涂液进行均匀刮平,微型电动伸缩杆可对加工后的晶片进行顶出,便于拿取,可对涂液后的晶片进行快速吹干,不需等待自然风干。

基本信息
专利标题 :
一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122564713.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-25
授权号 :
CN216539096U
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
洪文庆
申请人 :
锐捷光电科技(江苏)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港经济技术开发区国泰北路15-28号1C幢锐捷光电科技(江苏)有限公司
代理机构 :
合肥山高专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
俞晓明
优先权 :
CN202122564713.9
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02  B05B15/00  B05B16/20  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2022-05-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332