微型旋涂机
授权
摘要
本实用新型公开了一种微型旋涂机，由气氛控制仓、旋涂机、控制器三部分构成；其特征在于；所述气氛控制仓具有气氛控制仓顶盖、气氛控制仓底板、气氛控制仓侧壁；所述气氛控制仓侧壁与气氛控制仓顶盖和气氛控制仓底板之间通过螺丝固定；气氛控制仓侧壁带有侧面凹槽，气氛控制仓侧壁侧面凹槽内固定测试窗口；气氛控制仓底板含有进气口、出气口、气体扩散、收集口；气体扩散、收集口分别与进气口和出气口相连接。该装置可以满足：1、旋转开始与结束的控制；1、100转每分钟至10000转每分钟的旋涂速度设定；2、对旋转方向（顺时针/逆时针）的转换；3、旋涂过程中的气氛调节；4、保留测试相关窗口。
基本信息
专利标题 ：
微型旋涂机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122294693.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-23
授权号 ：
CN216441000U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
于立扬彭强
申请人 ：
四川大学
申请人地址 ：
四川省成都市一环路南一段24号四川大学
代理机构 ：
成都中亚专利代理有限公司
代理人 ：
王岗
优先权 ：
CN202122294693.8
主分类号 ：
B05C11/08
IPC分类号 ：
B05C11/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/02
向已经涂布过的表面涂敷或分布液体或其他流体的装置；涂层厚度的控制
B05C11/08
通过操纵工件，如倾斜涂敷液体或其他流体
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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