旋涂装置以及使用该装置制备的涂布基板
专利权的终止
摘要
本发明提供了一种用于通过旋涂制造涂布基板的具有环形或多边形辅助构件的旋涂装置，其中，安装基板时，辅助构件在0.03～0.8mm的间隔距离范围和小于0.1mm的高度偏差范围内，与用于涂布的基板的侧面相邻设置。当使用本发明的装置将涂布剂旋涂至用于涂布的基板表面上时，可以消除或有效地减少旋涂完成时在涂布基板末端部分发生的滑跃现象，从而实现涂布溶液在基板上的均匀涂布，并且也可以有效地减少由于残留涂布剂的流入或停留引起的用于涂布的基板的污染。
基本信息
专利标题 ：
旋涂装置以及使用该装置制备的涂布基板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101060936A
申请号 ：
CN200580039811.1
公开（公告）日 ：
2007-10-24
申请日 ：
2005-12-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姜太植李成根洪瑛晙
申请人 ：
LG化学株式会社
申请人地址 ：
韩国首尔
代理机构 ：
北京金信立方知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱梅
优先权 ：
CN200580039811.1
主分类号 ：
B05C11/08
IPC分类号 ：
B05C11/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C11/00
在B05C1/00至B05C9/00中没有专门列入的部件、零件及附件
B05C11/02
向已经涂布过的表面涂敷或分布液体或其他流体的装置；涂层厚度的控制
B05C11/08
通过操纵工件，如倾斜涂敷液体或其他流体
法律状态
2013-01-30 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101389928206
IPC(主分类) : B05C 11/08
专利号 : ZL2005800398111
申请日 : 20051206
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20111206
号牌文件序号 : 101389928206
IPC(主分类) : B05C 11/08
专利号 : ZL2005800398111
申请日 : 20051206
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20111206
2009-07-22 ：
授权
2007-12-19 ：
实质审查的生效
2007-10-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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