蓝宝石晶片清洗缓冲装置
授权
摘要
本实用新型涉及蓝宝石晶片的加工技术领域，尤其涉及一种蓝宝石晶片清洗缓冲装置：包括支撑台和控制机构；支撑台上设置有药液槽、水槽、风冷装置、机械臂抓取探测装置，控制机构控制风冷装置、机械臂抓取探测装置的动作；机械臂抓取装置包括立柱、支撑旋转轴、伸缩臂、机械连接件、机械抓手装置；机械抓手装置包括机械抓手、红外温度探测装置；控制机构控制机械抓手抓取放置晶片载具，晶片载具中盛放有晶片；红外温度探测装置与机械伸缩杆连接，位于机械抓手装置的中部，探测晶片温度。采用本实用新型所述的蓝宝石晶片清洗缓冲装置，减少晶片损坏的可能，提高工作效率，减少劳动强度。
基本信息
专利标题 ：
蓝宝石晶片清洗缓冲装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920753258.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-24
授权号 ：
CN209970778U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
肖迪邴雪燕王鑫
申请人 ：
青岛嘉星晶电科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新区松园路17号工业技术研究院B3楼
代理机构 ：
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 ：
巩同海
优先权 ：
CN201920753258.7
主分类号 ：
B25J18/02
IPC分类号 ：
B25J18/02 B25J15/08 B08B3/08
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J18/00
爪臂
B25J18/02
可伸长的
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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