晶片超声清洗装置
授权
摘要
本实用新型旨在提供一种简化清洗步骤、有效避免异物产生从而提高清洗质量的晶片超声清洗装置。它包括机体，在机体上设置有上料区、清洗区以及操作面板，在上料区中设置有若干提料架，提料架下端夹有装料盘，在清洗区底部设置有超声发生器，在机体上还设置有传动机构，传动机构通过连接杆固定设置有移动臂，移动臂设置在清洗区上方，在传动机构的驱动下移动臂可实现水平方向和竖直方向上的移动，并将提料架依次传递至各个槽中，操作面板与传动机构、清洗区以及超声发生器均电性连接。本实用新型适用于晶片清洗领域。
基本信息
专利标题 ：
晶片超声清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122590512.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-27
授权号 ：
CN216460520U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
谢尚平孙黎明毛毅赖思明
申请人 ：
珠海东锦石英科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市珠海大道东段南屏科技工业园绿园路3号
代理机构 ：
珠海中知耕作知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
任君
优先权 ：
CN202122590512.6
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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