碳化硅晶片清洗装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型提供了一种碳化硅晶片清洗装置，该装置包括底座、把手、至少一个支撑杆和多个围栏；所述把手通过所述支撑杆连接在所述底座上；所述多个围栏分别连接在所述底座上，并且所述多个围栏与所述支撑杆以及所述底座合围形成容纳空间。该装置可以高效稳定的对装有晶片的多个卡塞盒进行清洗和转运，也可以用于临时存放卡塞盒，非常方便工人操作使用，还能够防止卡塞盒跌落造成的损失，有效的保证了生产效率和产品质量。
基本信息
专利标题 ：
碳化硅晶片清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922207328.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-10
授权号 ：
CN211757266U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
徐良曹力力蓝文安刘建哲余雅俊夏建白李京波郭炜叶继春
申请人 ：
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市南二环西路2688号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
董李欣
优先权 ：
CN201922207328.1
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-04-29 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 3/12
登记生效日 : 20220415
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
变更后权利人 : 浙江富芯微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 321000 浙江省金华市南二环西路2688号
变更后权利人 : 321000 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号3#厂房（自主申报）
登记生效日 : 20220415
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
变更后权利人 : 浙江富芯微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 321000 浙江省金华市南二环西路2688号
变更后权利人 : 321000 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号3#厂房（自主申报）
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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