一种高效节能的碳化硅晶片清洗装置
授权
摘要

本实用新型公开了清洗装置技术领域的一种高效节能的碳化硅晶片清洗装置,包括清洗箱,清洗箱内部设置有清洗机构,清洗机构由圆盘、支架、网盒和固定架构成,圆盘有两个,两个圆盘之间通过连接轴固定连接;支架有若干个,分别等距离安装于两个圆盘侧边处、且两个圆盘上的支架呈一一对应设置,相对应的两个支架之间固定连接有连杆,连杆上活动套设有套筒,网盒固定连接于套筒下侧;在清洗过程中,当网盒运动至脱离水面时,喷头中喷射而出的水会对网盒内部的晶片进行冲刷,从而使得杂质与污垢在晶片上的粘附力减小,当网盒运动至水中进行漂洗时,杂志与污垢即可被水流携带走,从而实现晶片的清洗,清洗力度很强,效果极佳,且清洗效率高。

基本信息
专利标题 :
一种高效节能的碳化硅晶片清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122967540.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
CN216501040U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
李有群陈辉贺贤汉王升卓世异周杰孙大方
申请人 :
安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请人地址 :
安徽省铜陵市经济开发区西湖三路
代理机构 :
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 :
李坤
优先权 :
CN202122967540.5
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B3/10  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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