一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置
授权
摘要

本实用新型涉及晶片清洗技术领域,具体是一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置,包括有工作台,所述工作台的顶部连接有清洗箱,所述清洗箱的内部设有内箱体,所述内箱体的内底板上连接有圆环柱,所述圆环柱的侧壁开设有多个安装通槽,所述内箱体内设有清洗机构,所述清洗机构包括有连接板,所述连接板的底部两端连接有侧面板,所述连接板的底端连接有中心板,所述中心板的两侧和两个侧面板的内侧连接有多个连杆,每个所述连杆的一端均固定连接有清洁毛刷,本实用新型通过清洗箱、内箱体、圆环柱、安装通槽、连接板、侧面板、中心板、连杆和清洁毛刷之间相互配合的作用,从而可以有效的对碳化硅晶片的两面进行清洗,提高了清洗效率。

基本信息
专利标题 :
一种多线切割后的碳化硅晶片自动清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122845589.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-19
授权号 :
CN216460427U
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
李有群贺贤汉王升陈辉
申请人 :
安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请人地址 :
安徽省铜陵市经济开发区西湖三路
代理机构 :
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 :
李坤
优先权 :
CN202122845589.3
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B1/04  B08B13/00  B28D7/02  B28D7/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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