一种碳化硅晶片清洗用固定机构
授权
摘要
本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片清洗用固定机构，包括清洗槽，还包括拆装机构和旋转移位机构，所述拆装机构固定安装在清洗槽内壁底部，所述拆装机构顶部固定安装有提升减震机构，所述提升减震机构顶部固定安装有防飞溅机构，本实用新型通过设置有夹持翻转机构和旋转移位机构，将晶片放置在四个伸缩杆之间，伸缩杆在伸缩套内侧收缩，在产生回弹力，对晶片上下两面夹紧固定，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的两个滑动块分别向内移动，使两个夹板分别向内移动，从而对晶片两侧夹紧固定，再对晶片顶部进行清洗，清洗一遍之后，打开电动推杆使电动推杆带动防滑垫向上移动直至防滑垫与晶片底部贴紧固定。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅晶片清洗用固定机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123033060.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-06
授权号 ：
CN216501135U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
贺贤汉卓世异王升陈辉李有群
申请人 ：
安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省铜陵市经济开发区西湖三路
代理机构 ：
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
李坤
优先权 ：
CN202123033060.8
主分类号 ：
B08B3/10
IPC分类号 ：
B08B3/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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