一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构,包括底座,所述底座的两侧内壁通过螺栓固定有同一个底板,且底板顶部外壁的一侧通过螺栓固定有减速电机,所述减速电机的输出轴上套接有主动齿轮,所述底座顶部外壁通过轴承固定有研磨盘,且研磨盘底部外壁的两侧均通过螺栓固定有支撑板,所述底座顶部外壁开设有环形的滑槽,两个所述支撑板滑动连接在滑槽的内壁上,所述底座的两侧外壁通过螺栓固定有同一个支撑架。本实用新型通过在气缸上的活塞杆上设置连接机构,避免压紧盘出现偏移导致研磨不均匀的问题,通过在研磨盘底部设置支撑板,避免研磨盘在工作时受力不均匀导致研磨盘倾斜。

基本信息
专利标题 :
一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920990381.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-28
授权号 :
CN210060794U
授权日 :
2020-02-14
发明人 :
唐景庭曾昊李晓波甘琨韩建坤
申请人 :
同辉电子科技股份有限公司
申请人地址 :
河北省石家庄市鹿泉区高新技术开发区昌盛大街21号
代理机构 :
石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
周大伟
优先权 :
CN201920990381.0
主分类号 :
B24B41/06
IPC分类号 :
B24B41/06  B24B27/00  B24B7/22  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件,比如机架,床身,滑板,床头箱的
B24B41/06
工件支架,如可调中心架
法律状态
2021-06-04 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B24B 41/06
申请日 : 20190628
授权公告日 : 20200214
终止日期 : 20200628
2020-02-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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