研磨用组合物
授权
摘要
提供可有效地提高研磨速率的研磨用组合物。通过本发明，提供用于对研磨对象物进行研磨的研磨用组合物。该研磨用组合物包含水、磨粒、氧化剂和研磨促进剂。作为研磨促进剂，包含选自由碱金属盐及碱土金属盐组成的组中的至少1种金属盐。
基本信息
专利标题 ：
研磨用组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111587279A
申请号 ：
CN201880086133.1
公开（公告）日 ：
2020-08-25
申请日 ：
2018-12-21
授权号 ：
CN111587279B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
伊藤康昭野口直人
申请人 ：
福吉米株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201880086133.1
主分类号 ：
C09K3/14
IPC分类号 ：
C09K3/14 B24B37/00 H01L21/304
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K3/00
不包含在其他类目中的材料
C09K3/14
防滑材料；研磨材料
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-09-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 3/14
申请日 : 20181221
申请日 : 20181221
2020-08-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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