研磨用组合物及其制造方法、研磨方法以及基板的制造方法
公开
摘要
本发明为研磨用组合物及其制造方法、研磨方法以及基板的制造方法。本发明提供：对特定材料实现高研磨速度、且在不同种类材料之间可以实现显著高的选择比和显著高的高度差降低效果的手段。本发明涉及一种研磨用组合物，其含有表面固定有有机酸的二氧化硅和聚亚烷基二醇，聚亚烷基二醇的基于凝胶渗透色谱法(GPC)的聚乙二醇换算的分子量分布在规定的分子量范围内具有2个以上的峰，其中至少1个为源自聚乙二醇的峰，所述研磨用组合物的pH为3以上且6以下。
基本信息
专利标题 ：
研磨用组合物及其制造方法、研磨方法以及基板的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114316900A
申请号 ：
CN202111137248.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-09-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吉崎幸信长野贵仁
申请人 ：
福吉米株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202111137248.9
主分类号 ：
C09K3/14
IPC分类号 ：
C09K3/14 H01L21/306
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K3/00
不包含在其他类目中的材料
C09K3/14
防滑材料；研磨材料
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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