含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用...
实质审查的生效
摘要
提供：一种含添加剂液体的过滤方法，其能够实现维持实用的过滤器寿命并显示优异的缺陷减少能力的研磨用组合物。通过本发明提供的含研磨用添加剂液体的过滤方法包括利用满足以下条件(1)及(2)的过滤器对上述含研磨用添加剂液体进行过滤的工序。(1)用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下。(2)利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度(Sin/Sout)为3以下。
基本信息
专利标题 ：
含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114269456A
申请号 ：
CN202080056293.9
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
古田慎二早川隆志芦高圭史三轮直也土屋公亮丹所久典秋月丽子
申请人 ：
福吉米株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202080056293.9
主分类号 ：
B01D61/18
IPC分类号 ：
B01D61/18 B01D61/20 B01D61/22 B01D37/04 C09G1/02 C09K3/14
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D61/00
利用半透膜分离的方法，例如渗析，渗透，超滤；其专用设备，辅助设备或辅助操作
B01D61/14
超滤；微量过滤
B01D61/18
所用设备
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 61/18
申请日 : 20200730
申请日 : 20200730
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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