一种微电子工业洁净厂房
授权
摘要
本实用新型公开了一种微电子工业洁净厂房，包括控制中心、环境监测装置、加热加湿装置、空气净化装置和生产线，所述控制中心分别与环境监测装置、加热加湿装置和空气净化装置电性连接，所述环境监测装置与控制中心双向电性连接，所述环境监测装置包括监测控制处理器、温度传感器、湿度传感器、颗粒物传感器和警报装置，所述监测控制处理器的输入端分别与温度传感器、湿度传感器颗粒物传感器的输出端电性连接，所述警报装置的输入端与控制中心的输出端电性连接。本实用新型通过控制中心、环境监测装置、加热加湿装置和空气净化装置的配合，实现了对洁净厂房的环境的监测和净化。
基本信息
专利标题 ：
一种微电子工业洁净厂房
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020693839.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-29
授权号 ：
CN212108920U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
何红星
申请人 ：
无锡毅弘科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区锦溪路100号科教创业园3号楼3050
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵华
优先权 ：
CN202020693839.9
主分类号 ：
F24F11/89
IPC分类号 ：
F24F11/89 F24F11/30 F24F11/63 F24F11/54 F24F11/56 F24F110/10 F24F110/20 F24F110/64
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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