基于无衍射光束测量圆筒形件内壁表面形貌的装置
授权
摘要
本实用新型提出一种基于无衍射光束测量圆筒形件内壁表面形貌的装置，采用圆锥透镜产生无衍射光束，再用放于圆筒内的分束镜将光线反射到被测工件内壁。工件内壁的反射光线与反射镜的反射光线形成的光程差进而产生干涉现象，再通过信号处理系统进行数据的采集和处理。由于圆筒内壁表面形貌不可能绝对光滑，存在凹凸不平的起伏，这使光程差发生变化，导致干涉图样发生弯曲变形，则可通过弯曲量计算得到该处表面形貌的起伏程度，进而表征圆筒内壁表面的光整程度。本实用新型无需旋转工件，只需将工件轴向进给即可得到整个工件内壁的表面形貌，具有操作简单、误差小、效率高等优点。
基本信息
专利标题 ：
基于无衍射光束测量圆筒形件内壁表面形貌的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020725295.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-07
授权号 ：
CN211696271U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
马国鹭刘丽贤赵登峰
申请人 ：
西南科技大学
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区青龙大道59号
代理机构 ：
成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡文莉
优先权 ：
CN202020725295.X
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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