一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构
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摘要
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。本实用新型的优点是：结构简单，集成性高；解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题；具有量产可行性；尤其适用于物理气相沉积领域，如蒸发镀或溅射镀。
基本信息
专利标题 ：
一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920603328.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-29
授权号 ：
CN209854242U
授权日 ：
2019-12-27
发明人 ：
干黎明马国水邵鑫
申请人 ：
光驰科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
代理机构 ：
上海申蒙商标专利代理有限公司
代理人 ：
周宇凡
优先权 ：
CN201920603328.0
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2019-12-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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