镀膜线基板杂质气体清除设备
授权
摘要
本实用新型涉及镀膜加工设备领域，尤其是基板预处理设备；本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够清除基板表面杂质气体的镀膜线基板杂质气体清除设备。镀膜线基板杂质气体清除设备，包括输送装置和超声波发生器，超声波发生器位于输送装置的上方。
基本信息
专利标题 ：
镀膜线基板杂质气体清除设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021982561.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN213134317U
授权日 ：
2021-05-07
发明人 ：
张锦钟璨宇赖奇刘翘楚彭富昌崔晏陈今良赵曦光肖传海廖先杰李亮王莉
申请人 ：
攀枝花学院
申请人地址 ：
四川省攀枝花市东区机场路10号
代理机构 ：
成都虹桥专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
许泽伟
优先权 ：
CN202021982561.3
主分类号 ：
B08B7/04
IPC分类号 ：
B08B7/04 B08B7/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
B08B7/04
多种操作的结合
法律状态
2021-05-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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