一种清除废硅片杂质的喷砂设备

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种清除废硅片杂质的喷砂设备，包括喷砂室、设于喷砂室内由电机驱动的传动喷枪架和砂料收集装置、传送带，传送带由电机驱动，并穿过喷砂室，传送带上搁置若干网孔料盘，喷砂室内的传送带下方处设真空抽气装置，喷枪架传动方向与传送带运动方向垂直。本实用新型结构简单，废硅片受真空抽气紧贴网孔料盘运动，经喷枪喷砂清理，使硅片表层的杂质予以清除，经喷砂处理后的废硅片，可重复利用，为解决硅料资源紧缺作出了贡献。

基本信息

专利标题：

一种清除废硅片杂质的喷砂设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620103374.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-05-10

授权号：

CN2915374Y

授权日：

2007-06-27

发明人：

吴云才

申请人：

浙江昱辉阳光能源有限公司

申请人地址：

314117浙江省嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号

代理机构：

浙江杭州金通专利事务所有限公司

代理人：

徐关寿

优先权：

CN200620103374.7

主分类号：

B24C3/12

IPC分类号：

B24C3/12 B24C3/02 B24C1/04 B24C9/00 H01L21/304