一种用于镀膜的基板横移夹紧机构
授权
摘要
本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，包括真空气缸、两套抱臂机构，真空气缸连接驱动两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中推动部件与真空气缸传动配合，真空气缸可上下直线运动，推动部件可在真空气缸的驱动下左右直线运动，推动部件通过连杆连接旋转轴，旋转轴可在推动部件的带动下旋转，抱臂与旋转轴固定连接使抱臂在旋转轴的带动下旋转；两套抱臂机构的抱臂相向旋转实现基板的夹紧，两套抱臂机构的抱臂相背旋转实现基板的松开。本实用新型的优点是：结构简单合理，占用空间小，降低成本，简化动作流程，自动化程度及精度高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于镀膜的基板横移夹紧机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020751108.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-09
授权号 ：
CN213357730U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
戴晓东戴秀海余海春
申请人 ：
光驰科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
代理机构 ：
上海申蒙商标专利代理有限公司
代理人 ：
周宇凡
优先权 ：
CN202020751108.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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