一种具有均匀吸附力的静电吸附装置
授权
摘要
本实用新型涉及静电吸附领域，尤其涉及一种具有均匀吸附力的静电吸附装置，与电源电连接以用于吸附工件，包括底板、盖板和设置在两者之间的电极组，该电极组包括正电极、负电极和零势电极，所述正电极由若干正极单元构成，所述负电极由若干负极单元构成，所述正极单元和负极单元在相互垂直的第一方向和第二方向上相互交替设置，该静电吸附装置用于吸附工件时可以在盖板的上表面形成均匀的吸附力，以吸附很薄，且要求形变量很小的工件。
基本信息
专利标题 ：
一种具有均匀吸附力的静电吸附装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020759337.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-11
授权号 ：
CN211830618U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
杨杰
申请人 ：
成都骏创科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区西区大道199号A1栋4层
代理机构 ：
杭州坚果知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张剑英
优先权 ：
CN202020759337.1
主分类号 ：
H02N13/00
IPC分类号 ：
H02N13/00
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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