一种铬板位置调整装置
授权
摘要
本实用新型提供一种铬板位置调整装置，其包括设置在曝光仓外的操作面板，其用于生成移动信号；设置在曝光仓内的铬板放置区，其用于放置铬板；设置在所述铬板放置区上的移动组件，其还与所述操作面板电性连接，用于在接收到所述移动信号时改变所述铬板的位置。通过本实用新型的铬板位置调整装置，操作人员在曝光仓外使用所述操作面板移动位于曝光仓内的移动组件，进而调整位于所述曝光仓内的铬板。本实用新型的铬板位置调整装置不需打开所述曝光仓即可调整铬板的位置，其操作方便，且避免对铬板造成污染。
基本信息
专利标题 ：
一种铬板位置调整装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020761074.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-09
授权号 ：
CN212031917U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
牟立昌伏欣鑫
申请人 ：
江门亿都半导体有限公司
申请人地址 ：
广东省江门市蓬江区高沙三街16号
代理机构 ：
广州新诺专利商标事务所有限公司
代理人 ：
汪庭飞
优先权 ：
CN202020761074.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G02F1/13
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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